6英寸車規(guī)級碳化硅晶圓制造無塵車間內(nèi)，設備上綠色、黃色燈光閃爍，工作人員看一眼就知道設備處于生產(chǎn)還是閑置狀態(tài);幾名設備工程師正在調(diào)試新裝設備，沖刺擴產(chǎn);“天車”沿著無塵車間屋頂?shù)能壍缿掖褂诳罩型荡┧螅{(diào)試與機器人“搭檔”搬運芯片，將實現(xiàn)機臺到機臺的全自動無人化搬運;無塵車間外的辦公室內(nèi)，工程師坐在電腦前通過設備共享屏幕遠程監(jiān)控設備狀況，“千里眼”明察秋毫，指尖輕點鍵盤即可隨時遠程處理各種狀況……新年伊始，位于廣州南沙的國內(nèi)最大專注于車規(guī)級碳化硅芯片制造企業(yè)芯粵能廠內(nèi)一派熱火朝天的生產(chǎn)景象。
作為廣東“強芯工程”重大項目，芯粵能今年正加速一期產(chǎn)能爬坡，年底實現(xiàn)年產(chǎn)24萬片6英寸車規(guī)級碳化硅芯片的規(guī)劃產(chǎn)能。芯粵能項目達產(chǎn)后將極大緩解當前國產(chǎn)車規(guī)級碳化硅芯片緊缺的現(xiàn)狀，成為全球領(lǐng)先的車規(guī)級碳化硅功率半導體制造企業(yè)之一，解決碳化硅芯片“卡脖子”問題，奠定中國碳化硅功率器件領(lǐng)域的領(lǐng)先地位。
來源：廣州日報 耿旭靜、董業(yè)衡
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